微生物法煙氣脫硝的原理為：適宜的脫氮菌在有外加碳源的情況下，利用NOx作為氮源，將NOx還原成最基本的無害的N2，而脫氮菌本身獲得生長繁殖。其中NO2先溶于水中形成NO3及NO2，再被生物還原為N2，而 N O被吸附在微生物表面后直接被微生物還原為N2。因此，生物法凈化NOx也主要利用了反硝化細菌的異化反硝化作用。

在廢氣的生物處理中，微生物的存在形式可分為懸浮生長系統(tǒng)和附著生長系統(tǒng)兩種，懸浮生長系統(tǒng)是指微生物及其營養(yǎng)物配料存在于液相中，氣體中的污染物通過與懸浮物接觸后轉(zhuǎn)移到液相中而被微生物所凈化，其形式有噴淋塔、鼓泡塔等生物洗滌器。而在附著生長系統(tǒng)中,廢氣在增濕后進入生物濾床,通過濾層時，污染物由氣相轉(zhuǎn)移到生物膜表面并被微生物凈化.懸浮生長系統(tǒng)及附著生長系統(tǒng)在凈化NOx方面各具優(yōu)勢：前者相對后者來說，微生物的環(huán)境條件及操作條件易于控制，但因NOx中的NO占有較大的比例，而NO又不易溶于水，使得NO的凈化率不高。

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